等離子清洗機(jī)的應(yīng)用,起源于20世紀(jì)初,隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,其應(yīng)用越來越廣,目前已在眾多高科技領(lǐng)域中,居于關(guān)鍵技術(shù)的地位,等離子清洗技術(shù)對產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明影響zui大,*電子資訊產(chǎn)業(yè),尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電產(chǎn)業(yè)。
等離子清洗機(jī)各按鍵指令
命令注釋:左邊*個數(shù)碼管LED1是命令顯示,由Set鍵循環(huán)控制操作,各命令注釋如下:
“P”指令 初始上電;待機(jī)狀態(tài);任意復(fù)位的顯示。
“1”指令 指在自動狀態(tài)的運(yùn)行開始命令,確認(rèn)鍵后執(zhí)行。
“2”指令 等離子清洗處理時間,單位為分,確認(rèn)鍵后存儲記憶。
“3”指令 射頻功率設(shè)置,顯示為zui大功率的百分比。確認(rèn)鍵后存儲記憶。
“4”指令 E表示自動控制,n表示非自動控制(手動控制)。在此命令下,按下“+”鍵顯示為E,按下“—”鍵顯示為n,確認(rèn)鍵后存儲記憶。
“5”指令 真空度設(shè)置,確認(rèn)鍵后存儲記憶。真空壓力寫入依據(jù):初次使用時,若在常壓下顯示為“P”,關(guān)好倉門啟動真空泵,按下真空閥的按鈕,開始抽真空,隨著真空度的增加,右邊的三個LED進(jìn)入真空壓力的顯示,當(dāng)壓力大于99.1時,用手動給高壓,(Genera tor),觀察真空倉的顏色是否發(fā)白,若為紅色或者打火花,即刻停止高壓,繼續(xù)抽真空,隨著壓力數(shù)值的增加,再用上述方法實(shí)驗(yàn),找到發(fā)白光的準(zhǔn)確的壓力值,在復(fù)位后用命令“5”寫入該數(shù)值即可。即作為真空度的標(biāo)準(zhǔn)值。(此項(xiàng)也是作為儀器安裝是否可以正常使用的標(biāo)準(zhǔn))
“6”指令 空
以上各命令都可在Reset鍵下終止,回到復(fù)位狀態(tài)。所有數(shù)字量都可由“+”鍵、“—”鍵調(diào)整,確認(rèn)鍵后記憶保存,斷電不丟。當(dāng)數(shù)字量初始置入和發(fā)生改變 時請先按“+”鍵進(jìn)行調(diào)整,以確保可靠和減少寫入時間。
等離子清洗機(jī)是一新興的領(lǐng)域,該領(lǐng)域結(jié)合等離子物理、等離子化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應(yīng),此為典型的高科技產(chǎn)業(yè),需跨多種領(lǐng)域,包括化工、材料和電機(jī),因此將挑戰(zhàn)性,也布滿機(jī)會,由于半導(dǎo)體和光電材料在未來得快速成長,此方面應(yīng)用需求將越來越大。