產品特點：

　　1.公司自主研發*等離子體技術，松下高精度數字真空壓力表能實時檢測顯示艙體內真實真空度，提供工藝           參數里壓力值的計量依據

　　2.不銹鋼腔體，內置電極板無污染，連體艙門更方便和更美觀，艙體、閥體，管路采用耐用防腐蝕材料;

　　3.采用電容式等離子激發，真空室等離子體分布均勻，處理效果好，可重復性;

　　4.控制系統：5寸彩色觸摸屏英文互動操作界面，自動控制并監測儀器運行參數狀態，設置數據可存儲追溯。

      5.PLC全自動控制全流程,采用施耐德，歐姆龍等進口品牌電器元件，可在線設定，修改監控真空壓力，處理             時間，等離子功率等工藝參數，即可一鍵啟動，連續重復運行，J確控制試驗時間、真空度、功率等重要參             數,程序內設多項安全保護，防止誤操作，對人和儀器做到大保護;

　　6.手動、自動兩種模式任意切換，手動模式用于實驗工藝的模擬，自動程序用于批量處理樣品。

　　7.可預置多個實驗參數，簡化操作，提高效率。編好程序自動完成整個實驗過程;

　　8.使用成本低，無需進行特殊維護，在日常使用中保持儀器清潔即可應用領域;

　　9.安全保護：當射頻模塊發生溫度異常升高時，可以自動感知并停止射頻模塊工作，保護樣品，提高設備安全           和穩定性;

     10：采用45度傾斜角操作面板設計，人性化操作界面操作起來方便舒適。

技術參數：