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首頁 > 產品中心 > 半導體材料表面處理設備 > FW等離子清洗機 > PT1000A大氣低溫等離子清洗機

大氣低溫等離子清洗機

簡要描述:Plasma可以在大氣的環境下,快速的清楚有機污染物,達到組件表面潔凈及改質的功能,有效提升組件封裝、黏著、印刷之可靠度。

  • 產品型號:PT1000A
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-06-27
  • 訪  問  量:4448

詳細介紹

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域環保,化工,生物產業,電子,制藥

  特點:

  1、與連續生產線結合,可以連續操作

  2、使用價格低廉的CDA或N2

  應用范圍:

  1、LCD面板電極表面有機污染物的清潔

  2、軟性電路板電極表面有機污染物的清潔

  3、BGA電路板電極表面有機污染物的清潔

  4、LED電極表面有機污染物的

設備規格

2-1、設備規格


                       

NO


                       

項目


                       

規格


                       

備注


                       

電漿控制電源部規格


                       

1


                       

尺寸(WxDxH)


                       

370mm×450mm×150mm


                       

詳細規格參附件


                       

2


                       

重量


                       

13kg


                       

3


                       

需求電源


                       

AC220V,50-60Hz,3wire單相+接地線、10A


                       

地線<0.5


                       

4


                       

電漿輸出功率


                       

CDA:600--1000W


                       

可使用功率視實際條件而定


                       

5


                       

電漿有效直徑


                       

30-50mm


                       

視條件及樣品而定


                       

6


                       

工作進氣接頭


                       

6×8mm  Connector


                       

連接至主氣源


                       

7


                       

氣體使用量


                       

CDA:26±2L/min


                       

視條件及樣品而定


                       

8


                       

氣體壓力


                       

4.20±0./kg/cm


                       

9


                       

配置空間


                       

放置在通風良好(環境溫度小于30度)的地方。保留左右及上方有150mm以上散熱的空間,保留后方有150mm的線路空間


                       

電漿照射部規格


                       

1


                       

尺寸(H)


                       

33mm×215mm


                       

詳細規格參附件


                       

2


                       

重量


                       

<0.3kg


                       

3


                       

電源部-照射部距離


                       

2.6m


                       

其他規格


                       

1


                       

有效清潔范圍


                       

75mm


                       

視條件及樣品而定


                       

2


                       

處理速度


                       

50-300mm/sec


                       

視樣品而定


                       

3


                       

處理距離


                       

與待清潔物距離4m

2-2、廠務規格


                       

NO


                       

項目


                       

規格


                       

備注


                       

1


                       

電漿需求電源


                       

AC220v,50-60Hz,3Wire單相+接地線,10A


                       

地線<0.5歐姆


                       

2


                       

N2/ CDA


                       

純度:99.95%.

                       


                       

壓力:4.20±0../kg/cm

                       


                       

流量:20±2L/min

                       


                       

入口 PU 管管徑:6mm×4mm

                       


                       

氣體含油量:<0.003ppm

                       


                       

氣體含水量:露點<-23°C


                       

3


                       

排氣

                       


                       

(抽氣罩客戶自行準備)


                       

需在電漿噴射下方及周圍設置抽風罩

                       


                       

一般廠務排氣,大氣排放排氣量1000L/min


                       

電漿可能產生臭氧、NOx.、CO2等廢氣,請作好廢氣排放,避免人員暴露于廢氣環境中


                       

4


                       

避免干擾問題

  1. 電漿與PC 分別獨立電源

  2. 電漿設置需距離  PC  主機與屏幕 30cm 以上

2-3、一般規格


                       

NO


                       

項目


                       

規格


                       

備注


                       

1


                       

警報


                       

警示信號輸出


                       

選配


                       

2


                       

危險標示


                       

高壓危險標示


                       

3


                       

使用環境


                       

室溫:  15~30°C

                       


                       

濕度:30%~70%

                       


                       

不可有可燃性氣體,腐蝕性氣體,爆炸或反應性粉塵

設備耗材


                       

NO


                       

項目


                       

編號


                       

使用時間


                       

供貨商/備注


                       

1


                       

鍍鉑金銅電極


                       

PT1000T


                       

CDA: 500hr


                       

南京嘉陽


                       

2


                       

噴嘴


                       

CDA:PT000P


                       

CDA:1000hr


                       

南京嘉陽

注:1,未經訓練合格人員請勿做更換耗材的動作,2、更換耗材前請關閉電源20分鐘以上,并做好高壓電防護3、為確保清潔效率沒問題,在更換耗材后,請以面板進行測試。

  • 報價內容


                       

項目


                       

NO


                       

內容


                       

電漿照射單元


                       

1


                       

1組電漿照射部(旋轉槍頭)


                       

2


                       

1組電漿控制電源部


                       

3


                       

保固期服務費用

  • 驗收


                       

項目


                       

NO


                       

內容


                       

硬件驗收


                       

1


                       

設備清單驗收


                       

2


                       

出廠合格證


                       

3


                       

說明書


                       

性能驗收


                       

1


                       

清潔后,素玻璃水滴接觸角<15°(@速度100mm/s,距離4)mm


                       

穩定性測試


                       

1


                       

連續1小時電漿噴射測試

                       


                       

重復一次性能驗收


                       

驗收日期


                       

1


                       

交機后1個月內必須完成驗收

保養維護


                       

項目


                       

檢查內容


                       

檢查頻率


                       

清潔功能


                       

1,目視電漿噴射狀況

                       


                       

2,ITO 玻璃試片測試

                       


                       

3、水滴角測試


                       

日常

                       


                       

1次/月


                       

其他


                       

電極


                       

是否破損


                       

石英管


                       

是否破損


                       

氣體(鋼瓶)壓力


                       

壓力指示是否正確

七、貴單位配合工廠范圍及試片提供


                       

項目


                       

內容


                       

1,廠務工程

  1. 電源工事(不含電控點位安裝)

  2. 2、接地線

  3. 氣體配管(報價內容不含廠務設備裝設,如排氣管路,氣體管路、電源線/地線設置)


                       

2、試片提供


                       

以上試片,貴單位需免費提供

八、試機及售后服務

8-1試機

  安裝完成后,廠公司將協助進行式機測試

8-2試機項目


                       

項目


                       

說明


                       

電漿穩定性


                       

有肉眼觀察電漿狀態。持續時間


                       

組裝零件穩定性


                       

電漿經過1小時操作后,觀察電極,石英管狀況


                       

流量測試


                       

測試氣體流量是否正常


                       

洗潔能力測試


                       

貴單位試片測試(試片由貴單位提供)

8-3 提供書面數據

試機完成后,提供操作說明書 1 份:

(1) 內容:安全規定、規格、各部位說明、安裝、操作說明、問題解決、維修保養、耗材編號、零件編號。

(2) 附件:規格圖、接線圖。

8-4 服務范圍

1、保質12 個月,保質期間內,在正常使用情況下無償更換損壞之零組件。

2、保質期間內,耗材更換費用需由貴公司負擔。

3、但若操作在設備不能負荷范圍內,導致相關零組件損壞,敝公司不負賠償責任。

4、遇地震、火災、臺風、海嘯等不可抗拒災害導致設備損壞,敝公司不負賠償責任。

5、非使用原廠零組件直接,間接造成設備損壞時,敝公司不負賠償責任

6、若因設計不當,造成設備有損壞或瑕疵,敝公司將無償更換瑕疵或損壞之零組件。

7、保質期后,貴單位需自行負責更換零組件所需的耗材及服務費

九、保證及責任范圍


                       

項 目


                       

內   容


                       

(1)生產保證


                       

由于本裝置的不合適,生產停止的損失及不良品的損失,

                       


                       

敝公司不得保證。


                       

(2)安全保證


                       

維修及問題解決時,若需以手指觸碰機臺時,請先將電源

                       


                       

關閉 20 分鐘以上。使用中的安全問題,本公司不得保證。


                       

(3)瑕疪責任


                       

關于來自貴公司的指示, 施工方法等造成的裝置瑕疪不得

                       


                       

保證


                       

(4)交機后改造責任


                       

交機后,貴公司若有對構造、性能、方式進行改變而產生

                       


                       

的問題,敝公司不得保證


                       

(5)本體改造責任


                       

交機后,貴公司對構造、性能、方式改造時,敝公司得不

                       


                       

保證提供問題處理及消耗品供給之責任。


                       

(6)因為經年變化之責任


                       

非瑕疪而產生材料的自然性損耗、變化、變色或因為經年

                       


                       

累月而產生的裝置問題,得不保證。


                       

(7)無法預測的環境變化責

                       


                       


                       

在設備所設計允許的條件(溫度、濕度、氣壓、排氣等)以

                       


                       

外情況下使用或存放所引發的問題,得不保證。


                       

(8) 規定以外的氣體使用之

                       


                       

責任


                       

禁止使用規定以外的氣體,允許使用的氣體如下:

                       


                       

CDA、N2 純度 99.95%

                       


                       

使用其他的氣體所引發的問題,得不保證。

十、機密保持

貴單位購買此設備,只能提供自行生產使用,不得將說明書內所附設計圖面任意交付第 3 者參考

外部控制開關及遠程控制輸入端

本機提供了由外部(或遠程的)開關模式來控制本機的啟動和停  止動作。方便用戶使用本機與其它設備聯機時實現自動控制。

本機還設置了對外設的通訊接口,作為用戶選用遠程界面和遠程    控制使用(使用此功能,需參考本司提供之通訊協議)。

表4  外部控制端子的接線說明


                       

端腳號


                       

接線名稱


                       

功能說明


                       

備注


                       

Pin 1


                       

+24V Output


                       

供外設預備電源。  Max 100mA.


                       

注意: 切要避免Pin 1與除接線圖指示之外的任何引線或接地體發生短路!


                       

Pin 2


                       

Ground


                       

Pin 3


                       

IN1-P


                       

外部開關

                       


                       

P接正極性;N接負極性


                       

接線方法,參考下列接線示意圖。


                       

Pin 4


                       

IN1-N


                       

Pin 5


                       

RS485-A


                       

RS485通訊線。


                       

暫不提供

外部開關的接線方法,客戶可根據具體情況采用如下示意的兩種    方式其中之一。

連線方式(一):

利用本機提供的輔助電源。外部設備只需提供接觸式的“通"和“斷"兩種狀態。 需要注意的是,此兩條線及外設的開關,必須避免與其它任何電路連接。否則,可能造成本設備誤動作或者損害!
















 

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