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服務(wù)熱線：18811199509
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產(chǎn)品中心
PRODUCTS CENTER
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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料表面處理設(shè)備實驗室等離子清洗機(jī)PT1000A大氣低溫等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號：PT1000A
更新時間：2024-06-27
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪 問 量 ：4906
18811199509
產(chǎn)品分類
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特點(diǎn):
1、與連續(xù)生產(chǎn)線結(jié)合，可以連續(xù)操作
2、使用價格低廉的CDA或N2
應(yīng)用范圍:
1、LCD面板電極表面有機(jī)污染物的清潔
2、軟性電路板電極表面有機(jī)污染物的清潔
3、BGA電路板電極表面有機(jī)污染物的清潔
4、LED電極表面有機(jī)污染物的
設(shè)備規(guī)格
2-1、設(shè)備規(guī)格
NO | 項目 | 規(guī)格 | 備注 |
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| 電漿控制電源部規(guī)格 |
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1 | 尺寸（WxDxH) | 370mm×450mm×150mm | 詳細(xì)規(guī)格參附件 |
2 | 重量 | 13kg |
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3 | 需求電源 | AC220V,50-60Hz,3wire單相+接地線、10A | 地線＜0.5 |
4 | 電漿輸出功率 | CDA：600--1000W | 可使用功率視實際條件而定 |
5 | 電漿有效直徑 | 30-50mm | 視條件及樣品而定 |
6 | 工作進(jìn)氣接頭 | 6×8mm Connector | 連接至主氣源 |
7 | 氣體使用量 | CDA:26±2L/min | 視條件及樣品而定 |
8 | 氣體壓力 | 4.20±0./kg/cm |
|
9 | 配置空間 | 放置在通風(fēng)良好（環(huán)境溫度小于30度）的地方。保留左右及上方有150mm以上散熱的空間，保留后方有150mm的線路空間 |
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電漿照射部規(guī)格 | |||
1 | 尺寸（H) | 33mm×215mm | 詳細(xì)規(guī)格參附件 |
2 | 重量 | ＜0.3kg |
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3 | 電源部-照射部距離 | 2.6m |
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其他規(guī)格 | |||
1 | 有效清潔范圍 | 75mm | 視條件及樣品而定 |
2 | 處理速度 | 50-300mm/sec | 視樣品而定 |
3 | 處理距離 | 與待清潔物距離4m |
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2-2、廠務(wù)規(guī)格
NO | 項目 | 規(guī)格 | 備注 |
1 | 電漿需求電源 | AC220v,50-60Hz,3Wire單相＋接地線，10A | 地線＜0.5歐姆 |
2 | N2/ CDA | 純度：99.95%. 壓力：4.20±0../kg/cm 流量：20±2L/min 入口 PU 管管徑：6mm×4mm 氣體含油量：＜0.003ppm 氣體含水量：露點(diǎn)＜-23°C |
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3 | 排氣 （抽氣罩客戶自行準(zhǔn)備） | 需在電漿噴射下方及周圍設(shè)置抽風(fēng)罩 一般廠務(wù)排氣，大氣排放排氣量1000L/min | 電漿可能產(chǎn)生臭氧、NOx.、CO2等廢氣，請作好廢氣排放，避免人員暴露于廢氣環(huán)境中 |
4 | 避免干擾問題 |
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2-3、一般規(guī)格
NO | 項目 | 規(guī)格 | 備注 |
1 | 警報 | 警示信號輸出 | 選配 |
2 | 危險標(biāo)示 | 高壓危險標(biāo)示 |
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3 | 使用環(huán)境 | 室溫： 15~30°C 濕度：30%~70% 不可有可燃性氣體，腐蝕性氣體，爆炸或反應(yīng)性粉塵 |
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設(shè)備耗材
NO | 項目 | 編號 | 使用時間 | 供貨商/備注 |
1 | 鍍鉑金銅電極 | PT1000T | CDA: 500hr | 南京嘉陽 |
2 | 噴嘴 | CDA:PT000P | CDA：1000hr | 南京嘉陽 |
注：1，未經(jīng)訓(xùn)練合格人員請勿做更換耗材的動作，2、更換耗材前請關(guān)閉電源20分鐘以上，并做好高壓電防護(hù)3、為確保清潔效率沒問題，在更換耗材后，請以面板進(jìn)行測試。
報價內(nèi)容
項目 | NO | 內(nèi)容 |
電漿照射單元 | 1 | 1組電漿照射部(旋轉(zhuǎn)槍頭） |
| 2 | 1組電漿控制電源部 |
| 3 | 保固期服務(wù)費(fèi)用 |
驗收
項目 | NO | 內(nèi)容 |
硬件驗收 | 1 | 設(shè)備清單驗收 |
| 2 | 出廠合格證 |
| 3 | 說明書 |
性能驗收 | 1 | 清潔后，素玻璃水滴接觸角＜15°（@速度100mm/s,距離4）mm |
穩(wěn)定性測試 | 1 | 連續(xù)1小時電漿噴射測試 重復(fù)一次性能驗收 |
驗收日期 | 1 | 交機(jī)后1個月內(nèi)必須完成驗收 |
保養(yǎng)維護(hù)
項目 | 檢查內(nèi)容 |
| 檢查頻率 |
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清潔功能 | 1，目視電漿噴射狀況 2，ITO 玻璃試片測試 3、水滴角測試 |
| 日常
| 1次/月 | 其他 |
電極 | 是否破損 |
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石英管 | 是否破損 |
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氣體（鋼瓶）壓力 | 壓力指示是否正確 |
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七、貴單位配合工廠范圍及試片提供
項目 | 內(nèi)容 |
1，廠務(wù)工程 |
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2、試片提供 | 以上試片，貴單位需免費(fèi)提供 |
八、試機(jī)及售后服務(wù)
8-1試機(jī)
安裝完成后，廠公司將協(xié)助進(jìn)行式機(jī)測試
8-2試機(jī)項目
項目 | 說明 |
電漿穩(wěn)定性 | 有肉眼觀察電漿狀態(tài)。持續(xù)時間 |
組裝零件穩(wěn)定性 | 電漿經(jīng)過1小時操作后，觀察電極，石英管狀況 |
流量測試 | 測試氣體流量是否正常 |
洗潔能力測試 | 貴單位試片測試（試片由貴單位提供） |
8-3 提供書面數(shù)據(jù)
試機(jī)完成后，提供操作說明書 1 份：
(1) 內(nèi)容：安全規(guī)定、規(guī)格、各部位說明、安裝、操作說明、問題解決、維修保養(yǎng)、耗材編號、零件編號。
(2) 附件：規(guī)格圖、接線圖。
8-4 服務(wù)范圍
1、保質(zhì)12 個月，保質(zhì)期間內(nèi)，在正常使用情況下無償更換損壞之零組件。
2、保質(zhì)期間內(nèi)，耗材更換費(fèi)用需由貴公司負(fù)擔(dān)。
3、但若操作在設(shè)備不能負(fù)荷范圍內(nèi)，導(dǎo)致相關(guān)零組件損壞，敝公司不負(fù)賠償責(zé)任。
4、遇地震、火災(zāi)、臺風(fēng)、海嘯等不可抗拒災(zāi)害導(dǎo)致設(shè)備損壞，敝公司不負(fù)賠償責(zé)任。
5、非使用原廠零組件直接，間接造成設(shè)備損壞時，敝公司不負(fù)賠償責(zé)任。
6、若因設(shè)計不當(dāng)，造成設(shè)備有損壞或瑕疵，敝公司將無償更換瑕疵或損壞之零組件。
7、保質(zhì)期后，貴單位需自行負(fù)責(zé)更換零組件所需的耗材及服務(wù)費(fèi)
九、保證及責(zé)任范圍
項 目 | 內(nèi) 容 |
(1)生產(chǎn)保證 | 由于本裝置的不合適，生產(chǎn)停止的損失及不良品的損失， 敝公司不得保證。 |
(2)安全保證 | 維修及問題解決時，若需以手指觸碰機(jī)臺時，請先將電源 關(guān)閉 20 分鐘以上。使用中的安全問題，本公司不得保證。 |
(3)瑕疪責(zé)任 | 關(guān)于來自貴公司的指示, 施工方法等造成的裝置瑕疪不得 保證 |
(4)交機(jī)后改造責(zé)任 | 交機(jī)后，貴公司若有對構(gòu)造、性能、方式進(jìn)行改變而產(chǎn)生 的問題，敝公司不得保證 |
(5)本體改造責(zé)任 | 交機(jī)后，貴公司對構(gòu)造、性能、方式改造時，敝公司得不 保證提供問題處理及消耗品供給之責(zé)任。 |
(6)因為經(jīng)年變化之責(zé)任 | 非瑕疪而產(chǎn)生材料的自然性損耗、變化、變色或因為經(jīng)年 累月而產(chǎn)生的裝置問題，得不保證。 |
(7)無法預(yù)測的環(huán)境變化責(zé) 任 | 在設(shè)備所設(shè)計允許的條件(溫度、濕度、氣壓、排氣等)以 外情況下使用或存放所引發(fā)的問題，得不保證。 |
(8) 規(guī)定以外的氣體使用之 責(zé)任 | 禁止使用規(guī)定以外的氣體，允許使用的氣體如下： CDA、N2 純度 99.95% 使用其他的氣體所引發(fā)的問題，得不保證。 |
十、機(jī)密保持
貴單位購買此設(shè)備，只能提供自行生產(chǎn)使用，不得將說明書內(nèi)所附設(shè)計圖面任意交付第 3 者參考
外部控制開關(guān)及遠(yuǎn)程控制輸入端
本機(jī)提供了由外部（或遠(yuǎn)程的）開關(guān)模式來控制本機(jī)的啟動和停 止動作。方便用戶使用本機(jī)與其它設(shè)備聯(lián)機(jī)時實現(xiàn)自動控制。
本機(jī)還設(shè)置了對外設(shè)的通訊接口，作為用戶選用遠(yuǎn)程界面和遠(yuǎn)程 控制使用（使用此功能，需參考本司提供之通訊協(xié)議）。
表4 外部控制端子的接線說明
端腳號 | 接線名稱 | 功能說明 | 備注 |
Pin 1 | +24V Output | 供外設(shè)預(yù)備電源。 Max 100mA. | 注意: 切要避免Pin 1與除接線圖指示之外的任何引線或接地體發(fā)生短路！ |
Pin 2 | Ground | ||
Pin 3 | IN1-P | 外部開關(guān) P接正極性；N接負(fù)極性 | 接線方法，參考下列接線示意圖。 |
Pin 4 | IN1-N | ||
Pin 5 | RS485-A | RS485通訊線。 | 暫不提供 |
外部開關(guān)的接線方法，客戶可根據(jù)具體情況采用如下示意的兩種 方式其中之一。
連線方式（一）：
利用本機(jī)提供的輔助電源。外部設(shè)備只需提供接觸式的“通"和“斷"兩種狀態(tài)。 需要注意的是，此兩條線及外設(shè)的開關(guān)，必須避免與其它任何電路連接。否則，可能造成本設(shè)備誤動作或者損害！
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