產(chǎn)品中心
PRODUCTS CENTER當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料表面處理設(shè)備等離子清洗機(jī)PC-5S實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):PC-5S
更新時(shí)間:2024-09-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪 問(wèn) 量 :647
18811199509
產(chǎn)品分類(lèi)
PRODUCT CLASSIFICATION產(chǎn)品特點(diǎn):
1. 5寸彩色觸摸屏操作界面,采用45°傾斜角度設(shè)計(jì),符合人體工程學(xué),操作簡(jiǎn)單友好。
2. PLC自動(dòng)監(jiān)測(cè)控制工藝參數(shù),參數(shù)可存儲(chǔ),手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式任意切換。
3. 艙門(mén),流量計(jì)內(nèi)凹式設(shè)計(jì),防止不小心磕碰損壞,更大氣美觀。
4. 松下高精度數(shù)字真空壓力表,實(shí)時(shí)檢測(cè)顯示艙體內(nèi)真實(shí)真空度,提供論文真實(shí)數(shù)據(jù)。
5. 氣體浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)(MFC),可對(duì)多種氣體精準(zhǔn)控制。
6. 不銹鋼或石英真空艙體可選,艙體管路采用耐腐蝕材料。
7. 進(jìn)氣端口,氣體返填端口均配有高效過(guò)濾器,有效過(guò)濾空氣中的污染顆粒及水分。
8. 真空泵配有油霧過(guò)濾器,可有效隔絕油氣溢散,保護(hù)實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
9. 使用成本低,無(wú)需進(jìn)行特殊維護(hù),日常使用中保持儀器清潔即可。
10. 具備優(yōu)良的安全保護(hù)措施,射頻模塊溫度異常升高時(shí),自動(dòng)關(guān)閉電源,保護(hù)樣品,提高設(shè)備安全性和穩(wěn)定性。
等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域,納米材料學(xué),半導(dǎo)體,微電子,光學(xué),電子學(xué),微流控生物學(xué),石墨烯,再造醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | FW-6S |
射頻電源 | 40KHZ |
射頻電源功率 | 0-200W |
匹配器 | 自動(dòng)匹配 |
激發(fā)方式 | 電容式 |
艙體容積 | 5L |
艙體尺寸 | D245mm*?155mm |
艙體材質(zhì) | 不銹鋼或石英 |
載物板尺寸 | L245mm*W155mm |
高效過(guò)濾器 | 最小過(guò)濾0.22um |
氣體控制 | 浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)(MFC) |
氣體壓力穩(wěn)定時(shí)間 | 60s |
工作時(shí)間設(shè)定 | 1秒-99分59秒可調(diào) |
真空度 | 100par |
真空泵 | 抽速8m3/h |
電源 | AC220v5060HZ |
產(chǎn)品尺寸 | L41*W38*H50cm |
包裝尺寸 | L49*W46*H58cm |
整機(jī)凈重 | 13kg |
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